Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы 5-94836-039-3 - купить в книжном магазине TopBooks

Мы перезвоним Вам и уточним все детали

Вход    |    Регистрация
Книжный интернет магазин
+38 (093) 516 4008
О магазине | Оплата | Доставка | Контакты | Новости | Рейтинг книг | Авторы


Последние отзывы


Самоучитель игры на гитаре по табулатуре. Безнотный курс
1
Очень любовный роман
Полная фигня ни о чем.
NOFX. Ванна с гепатитом и другие истории
Спасибо за оперативную доставку, быстрее чем обещали....

> > > Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Фото книги Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
ISBN: 5-94836-039-3
Код-книги: 183546
Формат: 60x90/16 форматы книжных изданий
Издательство: Техносфера
Год издания: 2006
Кол.страниц: 192
Обратите внимание

Книга напечатана 12 лет назад.

Книга является букинистической, это может отразиться на ее состоянии, обычно это пожелтевшие страницы и т.д

Книги нет в наличии

Описание от издателя

Отзывы

Описание книги В. Киреев, А. Столяров - Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.